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導電薄膜激光刻蝕機

導電薄膜激光蝕刻設備

導電薄膜激光刻蝕機適用于PET薄膜基底上的導電材料進行高速激光刻蝕、剝離、劃線。適用于氧化銦錫(ITO),銀漿(Ag)、碳納米管(CNT)、石墨烯、納米銀、鉬鋁鉬、銅、高分子導電膜、氧化鋅、PERC、鈣鈦礦電池、FTO、TCO、碳粉等涂層材料的超細線寬激光蝕刻。

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設備適用于PET薄膜和Glass玻璃基底上的導電材料進行高速激光刻蝕、剝離、蝕刻、刻線、劃片、材料去除、構造。

 

適用材料

玻璃/薄膜表面氧化銦錫(ITO),銀漿(Ag)、碳納米管(CNT)、石墨烯、油墨、納米銀、鉬鋁鉬、銅、高分子導電膜、鋁薄膜、PERC、鈣鈦礦電池、FTO、TCO、碳粉等涂層材料的超細線寬激光蝕刻、除膜應用等。

 

應用行業

1.手機、車載、平板、智能穿戴,點餐機等觸控屏GF,GFF,OGS。

2.車載觸控屏體的OGS上導電膜層的刻蝕。

3.薄膜太陽能電池、鈣鈦礦電池等光伏行業。

4.新興能源行業,如電致色調光玻璃等。

5.發光玻璃、戶外顯示玻璃、顯示柔性薄膜等。

6.其他顯示屏。

 

產品特點

1.激光蝕刻為干式蝕刻,加工制程簡單,所有加工均由軟件自動控制,產品一致性高,良率高達99%,無耗材,環保,可靠穩定。

2.CCD相機自動定位,加工精度高。

3.設備操作簡單,圖檔更新方便,制程縮短,稼動率高。

4.設備控制軟件能夠實現自動圖檔分割,移動拼接加工,拼接精度可達±3μm

5.耗電量省,操作人員少,無污染,生產成本低。

 

技術參數/Specification

激光器

光纖激光器

綠光激光器

紫外激光器

激光波長

1064nm

532nm

355nm

激光功率  

20W

10W

10W

脈沖寬度

納秒、飛秒、皮秒可選

納秒、皮秒可選

納秒、皮秒可選

最小聚焦光斑  

<10μm(視材料與激光器類型、脈寬而定)

最小刻蝕線寬

<10μm(視材料與激光器類型、脈寬而定)

刻蝕速度  

<4000mm/s

加工范圍  

600*1200mm/600*600mm(標準尺寸,可根據客戶要求定制)

單次最大幅面

110mmX110mm    (標準配置,根據需求可選配)

CCD自動定位精度

±3μm

直線電機工作臺定位精度

±2μm

直線電機工作臺重復精度

±1um

設備尺寸  

1650mmL×1300mmW×1670mmH

設備重量  

1800kg

可處理文件格式  

標準Gerber文件,DXF文件,PLT文件等

 

元祿光電已開發出小型FTO、ITO激光刻蝕設備,可用于前期實驗階段加工,歡迎電話咨詢了解。


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