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導電玻璃激光刻蝕機的選型介紹

發布時間:2020-04-15 來源:元祿光電

導電玻璃是指透明導電氧化物,如氧化銦錫ITO、摻雜氟的SnO2 FTO、氧化鋅ZnO、氧化鎳NiO、納米銀等,部分為銅、鋁、金等材料,以玻璃為基材,通過磁控濺射等方式將導電材料生長在玻璃上的產品,常用于觸摸屏、光伏太陽能電池、戶外顯示、航空航天等諸多領域當中。

 

導電玻璃在產品成型之前需要對其進行刻蝕加工,形成電路圖,光伏行業主要是劃線,做成一個個小單元的電極,增大電壓,無論哪一個應用領域,都需要對其進行刻蝕加工。目前刻蝕工藝主要分為激光刻蝕、等離子刻蝕、化學刻蝕以及機械劃線等幾種方式,武漢元祿光電為大家介紹幾種刻蝕的方法、優缺點以及重點介紹激光刻蝕機的選型。

 

化學刻蝕:優點是加工速度快,一次成型,適合大面積加工;缺點是添加劑具有毒性,并且具有一定的污染性,操作流程相對復雜,對掩膜版要求高,不具備超精密微納結構的加工能力。

 

等離子刻蝕:超細微精密刻蝕,刻蝕線寬達到納米級,精度高;缺點是成本高,對使用環境等諸多要素都有極高要求。

 

機械劃線:主要優勢是成本低廉;缺點也顯而易見,對基材的損傷、線寬控制、精度控制、效果控制都不如其他加工,早期常應用于光伏太陽能劃線。

 

激光刻蝕:分為干法刻蝕和黃光曝光兩種,黃光曝光的優勢在于一次成型,精度高、刻蝕效果好、精細,缺點是成本相對較高,具備污染性。干法刻蝕是指激光直接入射在材料表面無需任何添加劑,通過高能量的光束汽化材料,形成線路或斷路,相比較于其他幾種工藝,在導電玻璃行業中可謂星光熠熠,處處優勢明顯,也是目前整個行業領域內最主流的機器。

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激光刻蝕機

激光刻蝕機的主要優點是操作簡便,導入CADGerber文件,通過振鏡偏轉、配合XY軸移動形成大面積的刻蝕成型,無耗材、無污染,刻蝕干凈,最小線寬可達到亞納米級別,目前武漢元祿光電普通振鏡掃描方式,導電ITO玻璃最小線寬在3微米,而在實驗室內最小可達700nm線寬,特別適合于導電玻璃微納激光刻蝕。

 

激光刻蝕機用于導電玻璃行業中主要激光波段為1064/532/355nm納秒、皮秒激光刻蝕機以及1030/515nm/355nm波段的飛秒激光刻蝕機,根據不同的應用場景需求,配置不同的激光器,并且會根據實際需求選擇不同的光學器件,如掃描幅面、擴束倍數、加工面積等條件。

 

一般來說,激光刻蝕機的參考選型主要參考因素是導電玻璃的材料、幅寬、線寬、線間距要求,至于說材料的厚度一般都是在幾百微米范圍內,有的甚至只有幾個納米,對于激光刻蝕機來說不難加工,主要還是看熱影響范圍區域,加工后的線寬、線間距以及線性直線度、加工精度以及誤差等影響。

 

因此確定激光刻蝕機的選擇需要明確以上幾點,根據需求推薦對應的機器類型,一般來說紅外1064納秒激光刻蝕機主要適用于20微米以上線寬的加工要求,飛秒激光刻蝕機主要適用于多層材料的導電玻璃激光刻蝕,如特殊需求仍需以實驗試樣為準。

 

推薦產品:飛秒激光刻蝕機

 


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