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ITO鍍膜玻璃、薄膜激光刻蝕工藝優缺點對比

發布時間:2019-09-19 來源:元祿光電

ITO是一種N型的氧化物半導體,中文名為氧化銦錫,因為其導電性、透光率較好常用于玻璃或柔性材PET基材上的導電氧化物,用于觸摸屏、光伏、冷光片、傳感器、電致色玻璃、發光玻璃等行業。通常情況下利用平面磁控技術在玻璃或柔性PET等材料上濺射ITO材料,并通過高溫退火處理得到ITO鍍膜玻璃或薄膜材料。

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ITO導電玻璃

ITO鍍膜玻璃或薄膜原材料由于是一整塊都是ITO材料,應用到觸控面板、顯示面板、太陽能電池、微電子、光電子等領域中就需要對其進行加工,形成特定線路圖,而對ITO材料的初加工工藝成了關鍵環節。

 

ITO鍍膜玻璃或薄膜的材料線路成型加工主要有黃光曝光、化學蝕刻、等離子蝕刻以及激光刻蝕設備。

 

黃光曝光加工效果好,速度快,缺點是需要用到掩膜版,ITO線路要求有的多達數千種,每一種都需要掩膜版,這對設計加工的成本太高,就是存儲也會浪費大量的空間,因此黃光曝光工藝目前只保留在特殊要求領域中使用。

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黃光曝光設備(圖片源自網絡)

化學蝕刻加工速度高,效果好,缺點是大量的化學試劑對人體和環境會造成污染,特別是在當今社會中人與自然的協調愈加重要,環境問題已加以限制,并控制在一定范圍內。當然化學蝕刻也有技術工藝缺點隨著下游產品對ITO鍍膜材料的要求越來越高,超細線寬的ITO材料化學蝕刻工藝已感到力不從心。

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化學刻蝕設備(圖片源自網絡)

等離子蝕刻效果和速度都非常理想,不過工藝流程較為復雜,灑家也不太明白具體的工藝流程,想想晶圓的制作流程,想來大家也知道了其復雜程度。不過相比較于ITO鍍膜材料的加工,等離子蝕刻設備還是小兒科了,很容易實現,也有簡易版的適用于ITO材料,相比較而言等離子刻蝕的成本相對較高。

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等離子刻蝕設備(圖片源自網絡)

激光刻蝕設備是目前的主流ITO刻蝕工藝,適用于柔性pet以及玻璃上的導電ITO激光刻蝕,優點是工藝流程簡單,導入CAD圖紙即可相機自動定位加工,一次性成型,對環境無污染,無掩膜版,只用消耗電力,并且易于自動化,加工尺寸可超過3m以上,優勢顯而易見。目前ITO材料刻蝕的線寬要求越來越高,傳統的納秒紅外激光刻蝕機的最小線寬只能做到20微米,而隨著激光技術的進步,ITO材料刻蝕最小線寬可做到10微米以下,可保持與ITO材料應用行業需求的發展同步。

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ITO激光刻蝕設備

 

ITO鍍膜玻璃、薄膜刻蝕工藝是太陽能電池、觸摸屏、光電子等行業領域中重要工藝環節,要保證生產效率、生產成本、環境保護,ITO激光刻蝕機必不可少,武漢元祿光電專業生產激光刻蝕設備,擁有豐富的經驗、過硬的技術,歡迎大家前來洽談了解。

 

推薦設備:導電玻璃激光刻蝕機

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